Te mana o te pāmahana me te haumākū aunoa

Ko te pāmahana me te haumākū o te ruma ma e tino whakatauhia ana i runga i nga whakaritenga o te tukanga, engari i raro i te tikanga ka tutuki nga whakaritenga o te tukanga, me whai whakaaro ki te whakamarie o te tangata.Na te pikinga o nga whakaritenga mo te maemaa o te hau, he ahua kei te kaha ake nga whakaritenga mo te pāmahana me te makuku.

I te mea kei te pai haere te tika o te miihini, kei te iti haere nga whakaritenga mo te awhe rerekee o te pāmahana.Hei tauira, i roto i te tukanga whakakitenga lithography o te hanga ara iahiko whakauru nui, ko te rereketanga i waenga i te whakareatanga whakareatanga waiariki o te karaehe me te angiangi angiangi i te mea ko nga mea o te diaphragm me iti ake, kia iti ake.He angiangi silicon ki te diameter o 100μm ka meinga te roha rārangi o 0.24μm ka piki te pāmahana i te 1 tohu.No reira, me noho tonu te pāmahana ±0.1 nekehanga.I te wa ano, ko te uara haumākū te tikanga kia iti, no te mea i muri i te werawera o te tangata, ka poke te hua, ina koa Mo nga awheawhe semiconductor e mataku ana ki te konutai, ko tenei momo awheawhe ma kaua e neke ake i te 25 nga nekehanga.

Ko te nui o te makuku ka nui ake nga raruraru.Ka neke ake te haumākū whanaunga ki te 55%, ka puta te totohu ki te pakitara o te putorino wai whakamatao.Mena ka puta mai i roto i tetahi taputapu tika, ara iahiko ranei, ka puta mai etahi aitua.He ngawari te waikura ina 50% te haumākū whanaunga.I tua atu, ka nui rawa te haumākū, ko te puehu i runga i te mata o te angiangi silicon ka matū ki te adsorbed e nga ngota ngota wai i te rangi ki te mata, he uaua ki te tango.Ko te teitei ake o te haumākū whanaunga, ko te uaua ake ki te tango i te adhesion, engari ka iti ake te haumuku whanaunga i te 30%, ka ngawari hoki nga matūriki ki runga i te mata na te kaha o te hiko hiko, me te nui o te semiconductor. ka pakaru nga taputapu.Ko te awhe pāmahana pai mo te hanga angiangi silicon he 35 ~ 45%.